公开(公告)号：CN111252739A

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN202010064551.X

申请日：2020-01-20

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陈文清 ,  沈大伟 ,  刘正太 ,  江志诚 ,  刘万领 ,  黄喆 ,  卢祥乐

IPC: C01B13/11 ,  B01D53/00 ,  B01D49/00

Abstract: 本申请提供一种臭氧产生提纯系统，包括：供氧装置、臭氧发生装置、臭氧分离装置、控制装置和气路管道；供氧装置能够提供氧气；臭氧发生装置能够将氧气电解为包含氧气和臭氧的混合气体；臭氧分离装置能够将混合气体中的臭氧分离，臭氧分离装置内设有臭氧吸附装置；供氧装置、臭氧发生装置和臭氧分离装置通过气路管道依次连通，气路管道包括多个支路管道；控制装置能够控制多个支路管道开启或关闭，且控制装置能够调控多个支路管道的气压。本申请提供的臭氧产生提纯系统的臭氧分离装置内设有臭氧吸附装置，能够进行臭氧的收集，控制装置能够控制多个支路管道开启或关闭，调控多个支路管道的气压，有效防止气路压力增大，安全系数高。