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发明公开
一种声学谐振器及其制备方法和应用审中-实审

公开(公告)号：CN118249770A

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202410151067.9

申请日：2024-02-02

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 欧欣 , 田雪娣 , 张师斌 , 郑鹏程 , 姚虎林

IPC: H03H9/13 , H03H9/17 , H03H3/02

Abstract: 本发明涉及一种声学谐振器及其制备方法和应用，所述声学谐振器的结构包括：提供一支撑衬底(1)；位于所述支撑衬底(1)上方的SiO2中间层(2)；位于所述SiO2中间层(2)上方的压电薄膜(3)；位于所述压电薄膜(3)上方的金属电极；所述金属电极由相同厚度或不同厚度的接地电极(4)和信号电极(5)组成或者由相同厚度或不同厚度的叉指电极(6)和反射栅(7)组成。本发明通过改变金属电极的厚度可实现谐振器对不同机电耦合系数、谐振频率以及声速的需求。

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