公开(公告)号：CN113049908A

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN202110442272.7

申请日：2021-04-23

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 牛明慧 ,  任洁 ,  刘焕丽 ,  张辉

IPC: G01R31/00

Abstract: 本申请提供的一种超导SFQ标准工艺参数线下自动检测系统，所述系统包括：两台可编程高精度直流电流源，为待测单元提供激励电流；可编程高精度电压表，测量待测单元电压；可编程开关矩阵，分别接入各可编程高精度直流电流源和可编程高精度电压表，并连接到一或多个待测单元；低通滤波模块，分别接于两台可编程高精度直流电流源、及可编程高精度电压表与可编程开关矩阵之间，以滤除高频噪声；上位机，用于与可编程模块进行通讯交互；接线端子板，与测试治具连接以装载待测单元。本申请能够提高超导SFQ标准工艺参数线下检测的精度和效率。

公开(公告)号：CN113049908B

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202110442272.7

申请日：2021-04-23

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 牛明慧 ,  任洁 ,  刘焕丽 ,  张辉

IPC: G01R31/00

Abstract: 本申请提供的一种超导SFQ标准工艺参数线下自动检测系统，所述系统包括：两台可编程高精度直流电流源，为待测单元提供激励电流；可编程高精度电压表，测量待测单元电压；可编程开关矩阵，分别接入各可编程高精度直流电流源和可编程高精度电压表，并连接到一或多个待测单元；低通滤波模块，分别接于两台可编程高精度直流电流源、及可编程高精度电压表与可编程开关矩阵之间，以滤除高频噪声；上位机，用于与可编程模块进行通讯交互；接线端子板，与测试治具连接以装载待测单元。本申请能够提高超导SFQ标准工艺参数线下检测的精度和效率。