背面光耦合超导纳米线单光子探测器件、制备及测试装置

    公开(公告)号:CN110726484A

    公开(公告)日:2020-01-24

    申请号:CN201911088568.2

    申请日:2019-11-08

    Abstract: 本发明提供一种背面光耦合超导纳米线单光子探测器件、制备及测试装置,背面光耦合超导纳米线单光子探测器件包括器件光敏区域及定位环。测试装置包括封装件及套管,背面光耦合超导纳米线单光子探测器件固定于封装件中,并通过套管与封装件及光纤插头的连接,使得光纤插头的中心与背面光耦合超导纳米线单光子探测器件的中心位于同一垂线上。本发明制备具有特殊形貌的背面光耦合超导纳米线单光子探测器件并与测试装置配合应用,实现高稳定性的自对准光耦合;且利用μm级的标记刻度尺,结合光学显微镜可以直接量化对光误差,使得对光误差控制在μm量级。

    背面光耦合超导纳米线单光子探测器件及测试装置

    公开(公告)号:CN210719422U

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN201921922748.1

    申请日:2019-11-08

    Abstract: 本实用新型提供一种背面光耦合超导纳米线单光子探测器件及测试装置,背面光耦合超导纳米线单光子探测器件包括器件光敏区域及定位环。测试装置包括封装件及套管,背面光耦合超导纳米线单光子探测器件固定于封装件中,并通过套管与封装件及光纤插头的连接,使得光纤插头的中心与背面光耦合超导纳米线单光子探测器件的中心位于同一垂线上。本实用新型制备具有特殊形貌的背面光耦合超导纳米线单光子探测器件并与测试装置配合应用,实现高稳定性的自对准光耦合;且利用μm级的标记刻度尺,结合光学显微镜可以直接量化对光误差,使得对光误差控制在μm量级。

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