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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113126332A
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202110474166.7
申请日：2021-04-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种马赫曾德尔电光调制器及调制方法，包括第一2×2MMI结构、第二2×2MMI结构及2个相位调制臂，其中，相位调制臂位于所述第一2×2MMI结构及第二2×2MMI结构之间，且相位调制臂的两侧具有DC电极及RF电极，以构成包括1个输入光波导及3个输出光波导的电光调制器；且电光调制器位于第一环境中，3个输出光波导分别与位于第二环境中的3个输出光纤耦合，且第一环境中的温度小于第二环境中的温度。本发明可减少光波在低温区域的耗散，从而可降低制冷能耗，同时，降低传输系统比特能耗；进一步的，电光调制器偏置在工作区域，使第一输出光波导输出最小光强，使得调制信号具有较高的消光比。
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公开(公告)号：CN110718841A
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201910926337.8
申请日：2019-09-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S3/08
Abstract: 本申请提供一种片上集成硅基微球腔的制备方法，包括以下步骤：获取SOI基片，SOI基片包括顶部的器件层，底部的支撑层和位于器件层和支撑层之间的氧化层，器件层为Si层,氧化层为SiO2层，支撑层为Si层；采用匀胶机在器件层上旋涂光刻胶层；采用光刻机曝光后显影，将设定大小的圆形图案转移到光刻胶层上；在器件层上依次刻蚀出顶部硅柱和底部硅柱，其中底部硅柱的顶面直径小于顶部硅柱的直径，顶部硅柱为圆柱结构；去除光刻胶层；顶部硅柱结构经过激光辐照加热熔化设定时间后，顶部硅柱结构形成球形微腔。本申请实施例提供的硅基微球腔的制备方法通过在SOI基片上刻蚀顶部硅柱和底部硅柱获得的球形微腔粗糙度很小，品质因子Q值很高。
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公开(公告)号：CN115542583A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211112142.8
申请日：2022-09-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02F1/01
Abstract: 本发明提供一种电光调制器、调制方法及系统，包括：微腔光耦合装置及超导热电极；所述微腔光耦合装置包括微环谐振腔及波导，所述微环谐振腔与所述波导耦合；所述超导热电极覆盖于所述微环谐振腔的部分上方区域，接收直流偏置信号及射频调制信号，用于在所述超导热电极呈有阻态时将所述射频调制信号加载到所述微腔光耦合装置中的光信号中。本发明的电光调制器、调制方法及系统适用于极低温的工作环境(低于超导热电极材料的超导临界温度)；通过将微弱高频电流信号加载到光信号上，实现高频微弱电流信号的电光转换；而且本发明叠加了微腔光耦合装置的高灵敏度和超导材料失超突变的高灵敏度优势，使得高频微弱电流信号的传输高效稳定。
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公开(公告)号：CN115542583B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202211112142.8
申请日：2022-09-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02F1/01
Abstract: 本发明提供一种电光调制器、调制方法及系统，包括：微腔光耦合装置及超导热电极；所述微腔光耦合装置包括微环谐振腔及波导，所述微环谐振腔与所述波导耦合；所述超导热电极覆盖于所述微环谐振腔的部分上方区域，接收直流偏置信号及射频调制信号，用于在所述超导热电极呈有阻态时将所述射频调制信号加载到所述微腔光耦合装置中的光信号中。本发明的电光调制器、调制方法及系统适用于极低温的工作环境(低于超导热电极材料的超导临界温度)；通过将微弱高频电流信号加载到光信号上，实现高频微弱电流信号的电光转换；而且本发明叠加了微腔光耦合装置的高灵敏度和超导材料失超突变的高灵敏度优势，使得高频微弱电流信号的传输高效稳定。
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公开(公告)号：CN113126332B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202110474166.7
申请日：2021-04-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种马赫曾德尔电光调制器及调制方法，包括第一2×2MMI结构、第二2×2MMI结构及2个相位调制臂，其中，相位调制臂位于所述第一2×2MMI结构及第二2×2MMI结构之间，且相位调制臂的两侧具有DC电极及RF电极，以构成包括1个输入光波导及3个输出光波导的电光调制器；且电光调制器位于第一环境中，3个输出光波导分别与位于第二环境中的3个输出光纤耦合，且第一环境中的温度小于第二环境中的温度。本发明可减少光波在低温区域的耗散，从而可降低制冷能耗，同时，降低传输系统比特能耗；进一步的，电光调制器偏置在工作区域，使第一输出光波导输出最小光强，使得调制信号具有较高的消光比。
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