公开(公告)号：CN101590999B

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN200910074573.8

申请日：2009-06-26

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  丑修建 ,  熊继军 ,  薛晨阳 ,  刘俊 ,  赵振宇 ,  王静 ,  牛康康

IPC: H01L41/083

Abstract: 本发明涉及微执行器驱动构件，具体是基于反铁电厚膜场致相变应变效应的微悬臂梁驱动构件。解决了现有微执行器驱动构件存在的响应速度慢、驱动位移小等问题，步骤：①配制铅基反铁电材料前躯体溶胶、PbO溶胶；②在支撑基底Pt金属层上制得铅基反铁电材料厚膜；③在铅基反铁电材料厚膜上旋涂PbO溶胶，退火处理；④在铅基反铁电材料厚膜上溅射作为上电极的金属层、以及压焊点；⑤对支撑基底背面腐蚀，减薄支撑基底中部厚度；对铅基反铁电材料厚膜、支撑基底中部正面刻蚀，形成外围基座、与外围基座单端相连的悬臂梁结构。工艺、结构简单，实现了反铁电材料在微执行器驱动构件领域的应用，为实现快速响应、大位移量微驱动构件设计和制造提供了全新思路。

公开(公告)号：CN101590999A

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200910074573.8

申请日：2009-06-26

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  丑修建 ,  熊继军 ,  薛晨阳 ,  刘俊 ,  赵振宇 ,  王静 ,  牛康康

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明涉及微执行器驱动构件，具体是基于反铁电厚膜场致相变应变效应的微悬臂梁驱动构件。解决了现有微执行器驱动构件存在的响应速度慢、驱动位移小等问题，步骤：①配制铅基反铁电材料前躯体溶胶、PbO溶胶；②在支撑基底Pt金属层上制得铅基反铁电材料厚膜；③在铅基反铁电材料厚膜上旋涂PbO溶胶，退火处理；④在铅基反铁电材料厚膜上溅射作为上电极的金属层、以及压焊点；⑤对支撑基底背面腐蚀，减薄支撑基底中部厚度；对铅基反铁电材料厚膜、支撑基底中部正面刻蚀，形成外围基座、与外围基座单端相连的悬臂梁结构。工艺、结构简单，实现了反铁电材料在微执行器驱动构件领域的应用，为实现快速响应、大位移量微驱动构件设计和制造提供了全新思路。