一种MEMS多频振动的电磁能量收集器

    公开(公告)号:CN112600462A

    公开(公告)日:2021-04-02

    申请号:CN202011454579.0

    申请日:2020-12-10

    Abstract: 本发明属于能量收集技术领域,具体涉及一种MEMS多频振动的电磁能量收集器,包括上层部分和下层部分,上层部分包括能量收集器结构、感应线圈,下层部分包括支撑框架、永磁体,支撑框架的中心处设置有凹槽,永磁体粘合在支撑框架凹槽的中央位置,永磁体的上方设置有能量收集器结构,能量收集器结构上设置有感应线圈。本发明提出的能量收集器利用回折梁结构工作频带宽的特点,极大地提高能量收集器的带宽,并且不需要外加激励,具有结构简单、灵敏度高、可靠性好,易批量化生产、制作成本低,功率输出高等优点。本发明用于能量的收集。

    一种基于电磁感应原理的MEMS三轴能量收集器

    公开(公告)号:CN112491233A

    公开(公告)日:2021-03-12

    申请号:CN202011454522.0

    申请日:2020-12-10

    Abstract: 本发明属于能量收集技术领域,具体涉及一种基于电磁感应原理的MEMS三轴能量收集器,包括上层结构和下层结构,所述上层结构设置在下层结构的上方,所述上层结构包括支撑框架、面内振动结构、离面振动结构,所述面内振动结构、离面振动结构设置在支撑框架上,所述下层结构包括磁体基座、第一永磁体、第二永磁体,所述第一永磁体、第二永磁体均镶嵌在磁体基座内。本发明提出的三轴能量收集器利用电磁感应原理收集环境中的振动能,并且环境适应性极强,能为各种无线传感网络提供必要的能源,具有结构简单、加工方便、易集成、效率高、寿命长等优点。本发明用于能量的收集。

    一种MEMS能量收集器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111678510A

    公开(公告)日:2020-09-18

    申请号:CN201911281783.4

    申请日:2019-12-13

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域,具体涉及一种MEMS能量收集器。本发明与背景技术相比具有明显的先进性,此能量收集器是采用MEMS工艺,以键合基板为载体,在外框上设置外框、敏感质量块和组合梁,并与外框吻合连接,在键合基板凹槽对称设置结构一样的永磁体,在敏感质量块上设置检测导线、引线电极和引线,检测组合梁由连接块、活动梁组成,此陀螺能量收集器设计合理简单、易单片集成、使用方便,整体结构合理简单,无需驱动,易小型化,是十分理想的用于收集能量的微型MEMS能量收集器。

    一种基于电磁感应原理的MEMS三轴能量收集器

    公开(公告)号:CN112491233B

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202011454522.0

    申请日:2020-12-10

    Abstract: 本发明属于能量收集技术领域,具体涉及一种基于电磁感应原理的MEMS三轴能量收集器,包括上层结构和下层结构,所述上层结构设置在下层结构的上方,所述上层结构包括支撑框架、面内振动结构、离面振动结构,所述面内振动结构、离面振动结构设置在支撑框架上,所述下层结构包括磁体基座、第一永磁体、第二永磁体,所述第一永磁体、第二永磁体均镶嵌在磁体基座内。本发明提出的三轴能量收集器利用电磁感应原理收集环境中的振动能,并且环境适应性极强,能为各种无线传感网络提供必要的能源,具有结构简单、加工方便、易集成、效率高、寿命长等优点。本发明用于能量的收集。

    一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置

    公开(公告)号:CN110967000A

    公开(公告)日:2020-04-07

    申请号:CN201911282716.4

    申请日:2019-12-13

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域,具体涉及一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置。一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置,主要结构由支撑框架、质量块、活动梁、检测梁、连接块、信号线组成,在支撑框架上设置质量块、驱动组合梁、检测组合梁,质量块由驱动质量块、检测质量块、中心质量块组成,驱动组合梁由活动梁、连接块组成,检测组合梁由检测梁、连接块组成,在驱动质量块、检测质量块上设置压电材料结构,利用其逆压电效应驱动,正压电效应检测,此装置结构设计合理、紧凑,正交耦合误差小,适合微型化。

    一种MEMS能量收集器
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN212585720U

    公开(公告)日:2021-02-23

    申请号:CN201922234997.8

    申请日:2019-12-13

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本实用新型属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域,具体涉及一种MEMS能量收集器。本实用新型与背景技术相比具有明显的先进性,此能量收集器是采用MEMS工艺,以键合基板为载体,在外框上设置外框、敏感质量块和组合梁,并与外框吻合连接,在键合基板凹槽对称设置结构一样的永磁体,在敏感质量块上设置检测导线、引线电极和引线,检测组合梁由连接块、活动梁组成,此陀螺能量收集器设计合理简单、易单片集成、使用方便,整体结构合理简单,无需驱动,易小型化,是十分理想的用于收集能量的微型MEMS能量收集器。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置

    公开(公告)号:CN211904157U

    公开(公告)日:2020-11-10

    申请号:CN201922235447.8

    申请日:2019-12-13

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本实用新型属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域,具体涉及一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置。一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置,主要结构由支撑框架、质量块、活动梁、检测梁、连接块、信号线组成,在支撑框架上设置质量块、驱动组合梁、检测组合梁,质量块由驱动质量块、检测质量块、中心质量块组成,驱动组合梁由活动梁、连接块组成,检测组合梁由检测梁、连接块组成,在驱动质量块、检测质量块上设置压电材料结构,利用其逆压电效应驱动,正压电效应检测,此装置结构设计合理、紧凑,正交耦合误差小,适合微型化。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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