公开(公告)号：CN107735728A

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201680034749.5

申请日：2016-06-14

Applicant: 东洋油墨SC控股株式会社 ,  东洋色材株式会社

Inventor： 宫本彩子 ,  白鸟进 ,  尼沙德·佩鲁尔 ,  和田宗大 ,  山田和则 ,  平野彰 ,  寺岛嘉孝 ,  二井洋文

IPC: G03F7/033 ,  C08F20/26 ,  C08F220/26 ,  G02B5/20 ,  G03F7/027

CPC classification number: C08F20/26 ,  C08F220/26 ,  G02B5/20 ,  G03F7/027 ,  G03F7/033

Abstract: 本发明涉及一种感光性组合物，其包含：含有呋喃基的化合物(A)、含有光聚合性官能基的化合物(B)、及光聚合引发剂(C)。根据本发明，可提供一种即便在低硬化温度下，也可赋予耐化学品性，且无脱气或相容性的问题的感光性组合物。

公开(公告)号：CN102459171A

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN201080026403.3

申请日：2010-01-27

Applicant: 东洋油墨SC控股株式会社

Inventor： 和田宗大 ,  菅野真树 ,  岩田贯

IPC: C07D209/82 ,  C07D209/86 ,  C08F2/46 ,  G03F7/031

CPC classification number: C07D209/82 ,  C07D209/86 ,  C08F2/50 ,  G03F7/031

Abstract: 本发明的目的是提供能够作为高敏感度的自由基聚合引发剂而发挥功能的新型肟酯化合物以及使用了它的固化性组合物。本发明的另一目的是提供特别是能够很好地用于光致抗蚀剂材料的负型抗蚀剂材料以及使用了该负型抗蚀剂的图像图案形成方法。一种由下述通式(1)表示的自由基聚合引发剂(A)，式中，R1、R2选自烷基、芳基、杂环基等中；R3～R5选自氢原子、烷基等中；R6～R9选自氢原子、烷基、芳基、杂环基等中；R10～R14选自氢原子、氰基、硝基、卤代烷基、亚磺酰基、磺酰基、或酰基等中，R10～R14不全部同时为氢原子。

公开(公告)号：CN102459171B

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN201080026403.3

申请日：2010-01-27

Applicant: 东洋油墨SC控股株式会社

Inventor： 和田宗大 ,  菅野真树 ,  岩田贯

IPC: C07D209/82 ,  C07D209/86 ,  C08F2/46 ,  G03F7/031

CPC classification number: C07D209/82 ,  C07D209/86 ,  C08F2/50 ,  G03F7/031

Abstract: 本发明的目的是提供能够作为高敏感度的自由基聚合引发剂而发挥功能的新型肟酯化合物以及使用了它的固化性组合物。本发明的另一目的是提供特别是能够很好地用于光致抗蚀剂材料的负型抗蚀剂材料以及使用了该负型抗蚀剂的图像图案形成方法。一种由下述通式(1)表示的自由基聚合引发剂(A)，式中，R1、R2选自烷基、芳基、杂环基等中；R3～R5选自氢原子、烷基等中；R6～R9选自氢原子、烷基、芳基、杂环基等中；R10～R14选自氢原子、氰基、硝基、卤代烷基、亚磺酰基、磺酰基、或酰基等中，R10～R14不全部同时为氢原子。