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公开(公告)号:CN103048487B
公开(公告)日:2014-06-11
申请号:CN201210559401.1
申请日:2012-12-20
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度风速风向传感器,其包括衬底(1)、绝缘体(2)、分别设在绝缘体(2)表面且相距一定距离的第一底部阳极(3)和第二底部阳极(4)、与绝缘体(2)相连的支撑锚区(5)、与支撑锚区(5)相连的弹性膜(8)、与弹性膜(8)相连的刚性薄板(9),设置在刚性薄板(9)上的风杆(10);风杆(10)位于刚性薄板(9)中心,第一底部阳极(3)和第二底部阳极(4)相对刚性薄板(7)中心对称放置,该风向传感器还包括设置在刚性薄板(9)下端且分别与第一底部阳极(3)和第二底部阳极(4)相对设置的第一尖端发射极(6)和第二尖端发射极(7)。本发明具有检测灵敏度高、功耗低、体积小和温漂小等特点。
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公开(公告)号:CN103063867A
公开(公告)日:2013-04-24
申请号:CN201210559096.6
申请日:2012-12-20
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种电容式风速风向传感器,其包括衬底(1)、设置在衬底(1)表面的绝缘体(2)、分别设在绝缘体(2)表面且相距一定距离的第一电容底电极(3)和第二电容底电极(4)、与绝缘体(2)相连的支撑锚区(5)、与支撑锚区(5)相连的弹性膜(6)、与弹性膜(6)相连的刚性薄板(7),和设置在刚性薄板(7)上的风杆(8),风杆(8)位于刚性薄板(7)中心,第一电容底电极(3)和第二电容底电极(4)相对刚性薄板(7)中心对称放置,且第一电容底电极(3)和第二电容底电极(4)构成差分电容对。本发明具有检测灵敏度高、功耗低、体积小和温漂小等特点。
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公开(公告)号:CN103543287B
公开(公告)日:2016-09-07
申请号:CN201310534156.3
申请日:2013-10-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种球形风速风向传感器结构,采用四个支撑杆对称安装在支撑基座四周,支撑杆上方固定区域安装带有应力检测传感器的弹性结构,弹性结构通过弹簧和中心的球形感风结构相连。本发明提供的球形风速风向传感器结构,具有结构简单、体积小、安装方便、成本低的优点,且温度漂移小,能够适合便携和移动测量需要。
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公开(公告)号:CN103543287A
公开(公告)日:2014-01-29
申请号:CN201310534156.3
申请日:2013-10-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种球形风速风向传感器结构,采用四个支撑杆对称安装在支撑基座四周,支撑杆上方固定区域安装带有应力检测传感器的弹性结构,弹性结构通过弹簧和中心的球形感风结构相连。本发明提供的球形风速风向传感器结构,具有结构简单、体积小、安装方便、成本低的优点,且温度漂移小,能够适合便携和移动测量需要。
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公开(公告)号:CN103048487A
公开(公告)日:2013-04-17
申请号:CN201210559401.1
申请日:2012-12-20
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度风速风向传感器,其包括衬底(1)、绝缘体(2)、分别设在绝缘体(2)表面且相距一定距离的第一底部阳极(3)和第二底部阳极(4)、与绝缘体(2)相连的支撑锚区(5)、与支撑锚区(5)相连的弹性膜(8)、与弹性膜(8)相连的刚性薄板(9),设置在刚性薄板(9)上的风杆(10);风杆(10)位于刚性薄板(9)中心,第一底部阳极(3)和第二底部阳极(4)相对刚性薄板(7)中心对称放置,该风向传感器还包括设置在刚性薄板(9)下端且分别与第一底部阳极(3)和第二底部阳极(4)相对设置的第一尖端发射极(6)和第二尖端发射极(7)。本发明具有检测灵敏度高、功耗低、体积小和温漂小等特点。
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