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公开(公告)号：CN117686022A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311534322.X
申请日：2023-11-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于折纸结构的温湿度集成传感器，包括无线传输结构、热驱动梁结构、折纸式梁结构、叉指电容式湿度传感结构。当环境温度高于若干设定的温度点时，折纸式梁结构弯曲导致若干触头电极与接触电极相接触，通过叉指电容式湿度传感结构与无线传输结构形成LC谐振电路，触头电极与接触电极的依次接触引起感应电容的变化，导致谐振频率的大幅跳变；当环境湿度改变时，叉指电容式湿度传感结构中薄膜材料的介电常数变化导致叉指电容产生细微的变化，从而导致谐振频率在温度跳变点附近发生细微偏移；通过电磁耦合以无源无线的方式收集温湿度谐振频率传感信息，实现温湿度传感器的同时测量，该方案具有多参数传感、无源无线、结构简单的优势。
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