公开(公告)号：CN104428713B

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201380036812.5

申请日：2013-06-06

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤原健典 ,  谷垣勇刚 ,  舛田伊知郎 ,  福崎雄介

IPC: G03F7/038 ,  C08F290/12 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0388 ,  C08F290/126 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0755 ,  G06F2203/04103 ,  C08F222/1006

Abstract: 本发明的目的是提供负型感光性树脂组合物，其不损害高硬度、高透明、高耐热和高耐药品性这样的特性、保存稳定性极其优异、可进行碱显影。本发明提供感光性树脂组合物，其包含在共聚物具有的一部分酸基上加成了含有环氧基的不饱和化合物(C)的含有不饱和基的树脂(D)，所述共聚物是使(甲基)丙烯酸酯(A)、与含有不饱和基和酸的化合物(B)共聚了的共聚物、具有特定结构的(甲基)丙烯酸系化合物(E)、具有选自氨基、酰胺基、脲基、酮亚胺和异氰酸酯基中的取代基的硅烷化合物(G)、和光聚合引发剂(F)。

公开(公告)号：CN104428713A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201380036812.5

申请日：2013-06-06

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤原健典 ,  谷垣勇刚 ,  舛田伊知郎 ,  福崎雄介

IPC: G03F7/038 ,  C08F290/12 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0388 ,  C08F290/126 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0755 ,  G06F2203/04103 ,  C08F222/1006

Abstract: 本发明的目的是提供负型感光性树脂组合物，其不损害高硬度、高透明、高耐热和高耐药品性这样的特性、保存稳定性极其优异、可进行碱显影。本发明提供感光性树脂组合物，其包含在共聚物具有的一部分酸基上加成了含有环氧基的不饱和化合物(C)的含有不饱和基的树脂(D)，所述共聚物是使(甲基)丙烯酸酯(A)、与含有不饱和基和酸的化合物(B)共聚了的共聚物、具有特定结构的(甲基)丙烯酸系化合物(E)、具有选自氨基、酰胺基、脲基、酮亚胺和异氰酸酯基中的取代基的硅烷化合物(G)、和光聚合引发剂(F)。