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公开(公告)号：CN203196968U
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201320129091.X
申请日：2013-03-20
Applicant: 上海亨通宏普通信技术有限公司
IPC: B08B13/00
Abstract: 本实用新型公开了PLC光分路器芯片清洗夹具，其包括：清洗夹具盘，所述清洗夹具盘包括一圆盘体，所述圆盘体的上表面上设置若干芯片安置槽，圆盘体的中心位置设置有中心圆台，该中心圆台的中心位置穿设内孔；清洗夹具提杆，所述清洗夹具提杆包括一杆体和设置杆体一端的限位块，所述杆体与中心圆台上的内孔相配合。本实用新型能装载各种型号的PLC分路器芯片，一次性装载数量多，能最大程度地缩短清洗时间，提高清洗效率，解决了清洗困难的问题。另外，本实用新型内配有清洗生产芯片过程中的晶圆条的装载槽，方便了晶圆条的清洗，提高了芯片制作效率。
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