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公开(公告)号：CN100474715C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200610114912.7
申请日：2006-08-10
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明提供可缓和振荡器箱体的真空状态时的应力，具有用于维护的面积大、容易制造的盖构件的气体激光器振荡器。具有闭塞气体激光器振荡器(100)的箱体(11)的开口部的盖构件(12)，在盖构件(12)形成朝箱体内部侧隆起的作为曲面部的圆顶形状部(31)，在盖构件(12)的4个端边与圆顶形状部(31)间的区域形成朝箱体主构造(11)的内部侧突出的作为凸起部的三角形凸构造部(32)，在盖构件(12)的端边形成朝箱体外部侧突出的侧壁(33)。
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公开(公告)号：CN1178341C
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN99816834.3
申请日：1999-07-30
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/081 , H01S3/0971
CPC classification number: H01S3/081 , H01S3/0971
Abstract: 具备：配置在谐振器(12)一端的1枚部分反射镜(19)以及2枚全反射镜(21、23)；配置在谐振器(12)另一端的3枚全反射镜(20、22、24)，并且配置反射镜(19、21、23以及20、22、24)使得谐振器(12)各端配置的3枚反射镜(19、21、23以及20、22、24)的激光中心呈三角形。又，在激光媒质(10)流动方向的放电区域下游端，配置在谐振器(12)各端上所配置的3枚反射镜(19、21、23以及20、22、24)中的2枚(19、23以及20、22)。
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公开(公告)号：CN101483303B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200810107963.6
申请日：2008-05-21
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01S3/0401
Abstract: 本发明提供一种激光振荡器，在将光学元件(3)抵接的并冷却光学元件(3)的冷却法兰(4)，通过法兰压盖(1)与基座(2)夹持进行连结固定时，能抑制冷却法兰(4)根据法兰压盖(1)或基座(2)产生仿形变形，从而使与冷却法兰(4)接触的光学元件(3)的平面度保持高精度。法兰压盖(1)与冷却法兰(4)通过设置于两者中任何一个上的3个突起(6)接触，所述3个突起(6)配置于三角形的顶点上，冷却法兰(4)与基座(2)通过设置于两者中任何一个上的3个突起(9)接触，法兰压盖(1)与冷却法兰(4)通过突起(6)接触的3点和冷却法兰(4)与基座(2)通过突起(9)接触的3点配置于相对的位置，通过连结部件(5)对夹持冷却法兰(4)的法兰压盖(1)与基座(2)进行连结固定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101483303A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200810107963.6
申请日：2008-05-21
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01S3/0401
Abstract: 本发明提供一种激光振荡器，在将光学元件(3)抵接的并冷却光学元件(3)的冷却法兰(4)，通过法兰压盖(1)与基座(2)夹持进行连结固定时，能抑制冷却法兰(4)根据法兰压盖(1)或基座(2)产生仿形变形，从而使与冷却法兰(4)接触的光学元件(3)的平面度保持高精度。法兰压盖(1)与冷却法兰(4)通过设置于两者中任何一个上的3个突起(6)接触，所述3个突起(6)配置于三角形的顶点上，冷却法兰(4)与基座(2)通过设置于两者中任何一个上的3个突起(9)接触，法兰压盖(1)与冷却法兰(4)通过突起(6)接触的3点和冷却法兰(4)与基座(2)通过突起(9)接触的3点配置于相对的位置，通过连结部件(5)对夹持冷却法兰(4)的法兰压盖(1)与基座(2)进行连结固定。
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公开(公告)号：CN102334246B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN200980157374.1
申请日：2009-05-19
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01S3/03
Abstract: 本发明的气体激光振荡器具有振荡器箱体、一对光学基台、一对波纹管及弹性构件，该一对光学基台设置在振荡器箱体的两侧，由在光轴方向延伸的多个支承杆相互平行地连接，分别对构成光共振器的光学部件进行支承；该一对波纹管及弹性构件连接一对光学基台与振荡器箱体之间，振荡器箱体具有主体部和盖部，该主体部由框状的金属材料构成，具有在光轴方向隔开间隔配置的一对侧板，以及分别连接侧板的上端之间与下端之间的在光轴方向延伸的上板(12)及下板(13)；该盖部由金属材料构成，具有外壁(31)和侧壁，并将主体部的各个开口闭塞，该外壁(31)在光轴方向延伸并且与光轴垂直的截面具有圆弧形状，该侧壁连接到外壁(31)的光轴方向的两端部；形成圆弧状的外壁(31)，以便当由固定构件将盖部固定于主体部时，在盖部的与主体部的连接部产生朝振荡器箱体的外侧的高度方向的力。
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公开(公告)号：CN102334246A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN200980157374.1
申请日：2009-05-19
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01S3/03
Abstract: 本发明的气体激光振荡器具有振荡器箱体、一对光学基台、一对波纹管及弹性构件，该一对光学基台设置在振荡器箱体的两侧，由在光轴方向延伸的多个支承杆相互平行地连接，分别对构成光共振器的光学部件进行支承；该一对波纹管及弹性构件连接一对光学基台与振荡器箱体之间，振荡器箱体具有主体部和盖部，该主体部由框状的金属材料构成，具有在光轴方向隔开间隔配置的一对侧板，以及分别连接侧板的上端之间与下端之间的在光轴方向延伸的上板(12)及下板(13)；该盖部由金属材料构成，具有外壁(31)和侧壁，并将主体部的各个开口闭塞，该外壁(31)在光轴方向延伸并且与光轴垂直的截面具有圆弧形状，该侧壁连接到外壁(31)的光轴方向的两端部；形成圆弧状的外壁(31)，以便当由固定构件将盖部固定于主体部时，在盖部的与主体部的连接部产生朝振荡器箱体的外侧的高度方向的力。
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公开(公告)号：CN101064408A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：CN200610114912.7
申请日：2006-08-10
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明提供可缓和振荡器箱体的真空状态时的应力，具有用于维护的面积大、容易制造的盖构件的气体激光器振荡器。具有闭塞气体激光器振荡器(100)的箱体(11)的开口部的盖构件(12)，在盖构件(12)形成朝箱体内部侧隆起的作为曲面部的圆顶形状部(31)，在盖构件(12)的4个端边与圆顶形状部(31)间的区域形成朝箱体主构造(11)的内部侧突出的作为凸起部的三角形凸构造部(32)，在盖构件(12)的端边形成朝箱体外部侧突出的侧壁(33)。
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公开(公告)号：CN1361931A
公开(公告)日：2002-07-31
申请号：CN99816834.3
申请日：1999-07-30
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/081 , H01S3/0971
CPC classification number: H01S3/081 , H01S3/0971
Abstract: 具备:配置在谐振器(12)一端的1枚部分反射镜(19)以及2枚全反射镜(21、23);配置在谐振器(12)另一端的3枚全反射镜(20、22、24),并且配置反射镜(19、21、23以及20、22、24)使得谐振器(12)各端配置的3枚反射镜(19、21、23以及20、22、24)的激光中心呈三角形。又,在激光媒质(10)流动方向的放电区域下游端,配置在谐振器(12)各端上所配置的3枚反射镜(19、21、23以及20、22、24)中的2枚(19、23以及20、22)。
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