公开(公告)号：CN111732898A

公开(公告)日：2020-10-02

申请号：CN202010211330.0

申请日：2020-03-24

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 李知虎 ,  朴泰远 ,  金元中 ,  李义郎

IPC: C09G1/02 ,  H01L21/321

Abstract: 本发明涉及用于图案化钨晶片的化学机械抛光浆料组成物和使用其抛光图案化钨晶片的方法。化学机械抛光浆料组成物包含：选自由极性溶剂和非极性溶剂组成的群组的至少一种；磨料；选自由式1表示的化合物和由式2表示的化合物组成的群组的至少一种；以及氢氧化四丁铵。

公开(公告)号：CN111732898B

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN202010211330.0

申请日：2020-03-24

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 李知虎 ,  朴泰远 ,  金元中 ,  李义郎

IPC: C09G1/02 ,  H01L21/321

Abstract: 本发明涉及用于图案化钨晶片的化学机械抛光浆料组成物和使用其抛光图案化钨晶片的方法。化学机械抛光浆料组成物包含：选自由极性溶剂和非极性溶剂组成的群组的至少一种；磨料；选自由式1表示的化合物和由式2表示的化合物组成的群组的至少一种；以及氢氧化四丁铵。