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1.

发明授权
激光辐射设备有权转让

公开(公告)号：CN101033111B

公开(公告)日：2010-12-15

申请号：CN200710008214.3

申请日：2007-01-25

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 郑炳铉 , 车裕敏 , 郑元雄 , 鲁莲九

IPC: C03B23/20 , H01L21/50 , H01L51/56

CPC classification number: B23K26/0876 , B23K26/067 , B23K26/0676

Abstract: 一种激光辐射设备包括多个激光头，激光从其中被辐射出，激光头的排列间隔可被调节，并且激光头自由地移动以沿着目标的外形辐射激光。激光振荡器用于振荡激光。多个激光头用于直线地辐射被所述激光振荡器振荡的激光。第一驱动装置用于调节所述激光头的排列间隔，并且沿着X方向移动所述激光头。第二驱动装置用于沿着不同于X方向的Y方向移动所述激光头。

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