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公开(公告)号：CN102456530A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201110120191.1
申请日：2011-05-06
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01L21/67213 , H01J2237/16 , H01J2237/31701 , H01L21/67173 , H01L21/67712 , H01L27/1259
Abstract: 本发明涉及可向大面积基板注入离子并且可以节省制造成本的离子注入系统以及利用该系统的离子注入方法。
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