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公开(公告)号：CN102102175A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN201010601144.4
申请日：2010-12-17
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C16/4485 , C23C14/243 , C23C14/26
Abstract: 本发明公开了一种线性蒸发源及具有该线性蒸发源的沉积设备。在一个实施例中，线性蒸发源包括：i)熔罐，在其一侧是敞开的，且熔罐被构造为储存沉积材料；ii)多个分隔件，将熔罐的内部空间隔开，其中，每个分隔件在下部中具有至少一个开口。该源还包括：i)喷嘴部分，位于熔罐的敞开侧上并包括多个喷嘴；ii)加热器，构造为加热熔罐；iii)壳体，构造为容纳熔罐、喷嘴部分和加热器。
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