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公开(公告)号：CN118255802A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202311214564.0
申请日：2023-09-19
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供有机金属化合物、包括其的抗蚀剂组合物和使用其的图案形成方法，所述有机金属化合物由下式1‑1至1‑4之一表示。对于式1‑1至1‑4中的M11、L11‑L14、a11‑a14、R11‑R14、X11‑X14、n11‑n15、Y11‑Y13、和R15‑R17的描述，参见说明书。#imgabs0#
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