公开(公告)号：CN103295944A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201310044499.1

申请日：2013-02-04

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李在南 ,  金仁彻 ,  金钟勋 ,  粱熙相 ,  元裕东 ,  李成烈 ,  李钟仁 ,  张珉九 ,  全佑哲

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67733

Abstract: 本发明提供了用于自动传输基板载体的载体传输器以及利用其传输基板载体的方法。载体传输器包括可拆卸地耦接到基板载体的夹具，该基板载体包括至少一个敞开门，多个基板通过该敞开门装载到基板载体中或从基板载体卸载。载体传输器还包括门阻挡单元，该门阻挡单元固定到夹具并配置为转换至阻挡位置，该阻挡位置为门阻挡单元的部分地阻挡所述门的位置从而在基板载体的自动传输期间防止多个基板从基板载体分离。

公开(公告)号：CN103295944B

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201310044499.1

申请日：2013-02-04

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李在南 ,  金仁彻 ,  金钟勋 ,  粱熙相 ,  元裕东 ,  李成烈 ,  李钟仁 ,  张珉九 ,  全佑哲

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67733

Abstract: 本发明提供了用于自动传输基板载体的载体传输器以及利用其传输基板载体的方法。载体传输器包括可拆卸地耦接到基板载体的夹具，该基板载体包括至少一个敞开门，多个基板通过该敞开门装载到基板载体中或从基板载体卸载。载体传输器还包括门阻挡单元，该门阻挡单元固定到夹具并配置为转换至阻挡位置，该阻挡位置为门阻挡单元的部分地阻挡所述门的位置从而在基板载体的自动传输期间防止多个基板从基板载体分离。