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公开(公告)号：CN116916654A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310413995.3
申请日：2023-04-18
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了非易失性存储器件和包括其的电子系统。该器件可以包括阵列区、延伸区和垫区，并且可以包括包含源极板的基板。该器件还可以包括：模结构，在基板的前表面上并包括在延伸区中交替地堆叠成阶梯形状的栅电极和模绝缘膜；延伸穿过模结构的沟道结构；延伸穿过模结构的单元接触；在模结构上的第一绝缘体；在基板的后表面上的第二绝缘体；在第二绝缘体上的垫；延伸穿过第一绝缘体的接触；以及在垫区中通过蚀刻第二绝缘体和基板而形成的通路。源极板在垂直方向上不与单元接触和接触重叠。
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