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公开(公告)号：CN119823306A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411412848.5
申请日：2024-10-11
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: C08F212/14 , C08F220/30 , C08F212/12 , C08F220/22 , G03F7/004
Abstract: 提供聚合物、包括其的抗蚀剂组合物及使用其形成图案的方法，所述聚合物包括由下面的式1表示的第一重复单元和由下面的式2表示的第二重复单元的。在式1和2中，L11至L13、L21至L24、a11至a13、a21至a24、A11、A21、X11、R11、R12、R21至R23、b12、b22、b23、p11、和p21如说明书中所描述的。#imgabs0#
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