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公开(公告)号：CN118824830A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410475384.6
申请日：2024-04-19
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种等离子体处理装置包括被配置为容纳电极的喷头以及位于喷头上的可变阻抗控制器。可变阻抗控制器包括第一构件和第二构件，第一构件与喷头间隔开并沿喷头的圆周布置，第二构件位于第一构件上并被配置为旋转。可变阻抗控制器被配置为：随着第一构件和第二构件之间的至少一个接触点根据第二构件的旋转而改变，通过改变由第一构件和第二构件产生的阻抗来控制阻抗。
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