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公开(公告)号：CN1901153A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200510127924.9
申请日：2005-12-07
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明涉及一种用于将由收容多个晶片的晶片盒取出的所述晶片移送到进行预定工艺的反应器中的晶片移送装置，其特征在于包含：具有臂的晶片移送部，该臂用于支持收容于所述晶片盒的所述晶片并将其移送到所述反应器中；在所述晶片盒的出口侧按照所述晶片移送方向的横向上相互间隔地设置为三个以上的传感器；控制部，该控制部为当根据取出所支持的所述晶片的臂移送速度及所述传感器所检测到的检测信号而计算的目标位置与检测位置互不相同时，将所述晶片的目标位置修正为所述晶片的检测位置，然后控制所述晶片移送部将所述晶片移送到所述反应器。由此，提供一种对中晶片所需时间较少的晶片移送装置及其移送方法。
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