发明授权
US09461617B2 Piezoelectric film producing process, vibrator element, vibrator, oscillator, electronic device, and moving object
有权
压电膜生产工艺，振动元件，振动器，振荡器，电子设备和运动物体
- 专利标题： Piezoelectric film producing process, vibrator element, vibrator, oscillator, electronic device, and moving object
- 专利标题（中）： 压电膜生产工艺，振动元件，振动器，振荡器，电子设备和运动物体
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申请号： US14727215申请日： 2015-06-01
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公开(公告)号： US09461617B2公开(公告)日： 2016-10-04
- 发明人: Takashi Yamazaki , Osamu Iwamoto
- 申请人： SEIKO EPSON CORPORATION
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： SEIKO EPSON CORPORATION
- 当前专利权人： SEIKO EPSON CORPORATION
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 代理机构： Oliff PLC
- 优先权： JP2013-151378 20130722
- 主分类号： H03B5/32
- IPC分类号： H03B5/32 ; H01L41/18 ; H01L41/37 ; H03H9/17 ; C22C21/12 ; C23C14/06 ; C23C14/34 ; H01L41/09 ; H01L41/187
摘要：
A vibrator element includes: a base portion; and a vibrating arm extending from the base portion, the vibrating arm including a piezoelectric film that contains Cu at a crystal grain boundary.
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