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发明授权
US08964165B2 Optical apparatus with adjustable action of force on an optical module 有权
在光学模块上具有可调力作用的光学装置

Optical apparatus with adjustable action of force on an optical module
摘要：
The disclosure pertains to an optical apparatus, in particular for microlithography, that includes an optical module, a support structure and a connection apparatus. The connection apparatus includes at least one connection unit which includes a first connector part and a second connector part. The first connector part is connected to the optical module, and the second connector part is connected to the support structure.
摘要（中）：

本发明涉及一种光学装置，特别是用于微光刻的光学装置，其包括光学模块，支撑结构和连接装置。 连接装置包括至少一个包括第一连接器部分和第二连接器部分的连接单元。 第一连接器部分连接到光学模块，并且第二连接器部分连接到支撑结构。

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