发明授权
- 专利标题： Templates having high contrast alignment marks
- 专利标题（中）： 具有高对比度对准标记的模板
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申请号： US13021461申请日： 2011-02-04
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公开(公告)号： US08961852B2公开(公告)日： 2015-02-24
- 发明人: Kosta S. Selinidis
- 申请人： Kosta S. Selinidis
- 申请人地址： US TX Austin
- 专利权人： Canon Nanotechnologies, Inc.
- 当前专利权人： Canon Nanotechnologies, Inc.
- 当前专利权人地址： US TX Austin
- 代理商 Cameron A. King
- 主分类号： G03F7/00
- IPC分类号： G03F7/00 ; B82Y10/00 ; B82Y40/00
摘要：
Described are systems and methods for formation of templates having alignment marks with high contrast material. High contrast material may be positioned within recesses of alignment marks.
公开/授权文献
- US20110192302A1 Templates Having High Contrast Alignment Marks 公开/授权日：2011-08-11
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