发明授权
US08849615B2 Method and system for semiconductor process control and monitoring by using a data quality metric
有权
通过使用数据质量度量进行半导体过程控制和监测的方法和系统
- 专利标题： Method and system for semiconductor process control and monitoring by using a data quality metric
- 专利标题（中）： 通过使用数据质量度量进行半导体过程控制和监测的方法和系统
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申请号： US12685022申请日： 2010-01-11
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公开(公告)号： US08849615B2公开(公告)日： 2014-09-30
- 发明人: Daniel Kost
- 申请人： Daniel Kost
- 申请人地址： KY Grand Cayman
- 专利权人： GLOBALFOUNDRIES Inc.
- 当前专利权人： GLOBALFOUNDRIES Inc.
- 当前专利权人地址： KY Grand Cayman
- 代理机构： Amerson Law Firm, PLLC
- 优先权： DE102009006887 20090130
- 主分类号： G06F11/30
- IPC分类号： G06F11/30 ; G05B23/02
摘要：
During fault detection of a production process, the influence of the data communication process for communicating measurement readings to the fault detection system may be taken into consideration. In one illustrative embodiment, a data rate related parameter may be used as an input variable for a data reduction procedure, thereby enabling an efficient assessment of the quality of the remaining “real” process and tool parameters.
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