发明授权
- 专利标题： Surface treatment method for vacuum member
- 专利标题（中）： 真空部件的表面处理方法
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申请号： US10532586申请日： 2003-10-31
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公开(公告)号： US08517795B2公开(公告)日： 2013-08-27
- 发明人: Kenji Saito , Tamao Higuchi
- 申请人： Kenji Saito , Tamao Higuchi
- 申请人地址： JP Osaka
- 专利权人： Nomura Plating Co., Ltd.
- 当前专利权人： Nomura Plating Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： JP Osaka
- 代理机构： Wenderoth, Lind & Ponack, L.L.P.
- 优先权： JP2002-323209 20021106; JP2002-323210 20021106; JP2002-323212 20021106
- 国际申请： PCT/JP03/14039 WO 20031031
- 国际公布： WO2004/041477 WO 20040521
- 主分类号： B24B49/08
- IPC分类号： B24B49/08
摘要：
A surface-treating process and a forming process in which an inner surface of a vacuum member is mechanically polished in the presence of a liquid medium including no hydrogen atom.
公开/授权文献
- US20050282473A1 Surface treatment method for vacuum member 公开/授权日：2005-12-22
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