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发明授权
US08498067B2 Optical element holding apparatus, barrel, exposure apparatus, and manufacturing method for device 有权
光学元件保持装置，镜筒，曝光装置及其制造方法

  • 专利标题： Optical element holding apparatus, barrel, exposure apparatus, and manufacturing method for device
  • 专利标题（中）： 光学元件保持装置，镜筒，曝光装置及其制造方法
  • 申请号： US13159305
    申请日： 2011-06-13
  • 公开(公告)号： US08498067B2
    公开(公告)日： 2013-07-30
  • 发明人: Youichi Arai
  • 申请人： Youichi Arai
  • 申请人地址： JP Tokyo
  • 专利权人： Nikon Corporation
  • 当前专利权人： Nikon Corporation
  • 当前专利权人地址： JP Tokyo
  • 代理机构： Klarquist Sparkman, LLP
  • 优先权： JP2007-113049 20070423
  • 主分类号： G02B7/02
  • IPC分类号： G02B7/02
Optical element holding apparatus, barrel, exposure apparatus, and manufacturing method for device
摘要：
An optical element holding apparatus includes an annular vibration attenuation plate, which covers a peripheral portion of a lens, and a connection member, which is formed of a damping alloy and which fixes the vibration attenuation plate to a frame body in a state of non-contact with the surface of the lens. The vibration attenuation plate and nitrogen gas in a clearance between the vibration attenuation plate and the surface of the lens form a squeeze film damper.
摘要（中）：

光学元件保持装置包括覆盖透镜的周边部分的环形振动衰减板和由阻尼合金形成并且将振动衰减板固定在框体上的连接构件， 与透镜表面接触。 振动衰减板和振动衰减板与透镜表面之间的间隙中的氮气形成挤压膜阻尼器。

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