发明授权
- 专利标题： Spin head, method of operating the spin head and apparatus for treating substrates with the spin head
- 专利标题（中）： 旋转头，操作旋转头的方法和用旋转头处理底物的装置
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申请号： US11945342申请日： 2007-11-27
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公开(公告)号： US08038838B2公开(公告)日： 2011-10-18
- 发明人: Ju Won Kim , Ki Hoon Choi , Jung Keun Cho , Kyo Woog Koo , Jung Bong Choi
- 申请人： Ju Won Kim , Ki Hoon Choi , Jung Keun Cho , Kyo Woog Koo , Jung Bong Choi
- 申请人地址： KR
- 专利权人： Semes Co., Ltd.
- 当前专利权人： Semes Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： KR
- 代理机构： Charter IP LLC
- 代理商 Matthew J. Lattig
- 优先权： KR10-2006-0118076 20061128
- 主分类号： H01L21/68
- IPC分类号： H01L21/68 ; H01L21/027
摘要：
A spin head includes chucking pins configures to chuck and unchuck a substrate. Contact portions of the chucking pins and the substrate are varied during a process to prevent a treating solution from remaining at the contact portions.
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