发明授权
- 专利标题： Method and device for producing granulated polycrystalline silicon in a fluidized bed reactor
- 专利标题（中）： 在流化床反应器中生产粒状多晶硅的方法和装置
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申请号： US12065790申请日： 2006-09-04
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公开(公告)号： US07922990B2公开(公告)日： 2011-04-12
- 发明人: Harald Hertlein , Rainer Hauswirth
- 申请人： Harald Hertlein , Rainer Hauswirth
- 申请人地址： DE Munich
- 专利权人： Wacker Chemie AG
- 当前专利权人： Wacker Chemie AG
- 当前专利权人地址： DE Munich
- 代理机构： Brooks Kushman P.C.
- 优先权： DE102005042753 20050908
- 国际申请： PCT/EP2006/065943 WO 20060904
- 国际公布： WO2007/028776 WO 20070315
- 主分类号： C01B33/02
- IPC分类号： C01B33/02
摘要：
A fluidized bed process for the production of polycrystalline silicon granules supplies, in addition to reaction gas, a gas containing 99.5 to 95 mol. percent hydrogen and 0.5 to 5 mol. percent gaseous silicon compounds, and the reactor wall is maintained at the same or a higher temperature than the reaction zone, such that the deposition of silicon on reactor internals is minimized.
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