发明授权
- 专利标题： Method of making a structure
- 专利标题（中）： 制作结构的方法
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申请号： US10885223申请日： 2004-07-06
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公开(公告)号： US07547647B2公开(公告)日： 2009-06-16
- 发明人: Gregory S. Herman , Peter Mardilovich , Chinmay Betrabet , Chih-hung Chang , Yu-jen Chang , Doo-Hyoung Lee , Mark W. Hoskins
- 申请人： Gregory S. Herman , Peter Mardilovich , Chinmay Betrabet , Chih-hung Chang , Yu-jen Chang , Doo-Hyoung Lee , Mark W. Hoskins
- 申请人地址： US TX Houston
- 专利权人： Hewlett-Packard Development Company, L.P.
- 当前专利权人： Hewlett-Packard Development Company, L.P.
- 当前专利权人地址： US TX Houston
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00
摘要：
A method for making a structure includes depositing a solution upon a surface and irradiating the solution with microwaves to crystallize solute of the solution on the surface.
公开/授权文献
- US20060009021A1 Structure formation 公开/授权日：2006-01-12
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