发明授权
- 专利标题： Light irradiating device
- 专利标题（中）： 光照射装置
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申请号： US09432785申请日： 1999-11-03
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公开(公告)号： US07061679B1公开(公告)日： 2006-06-13
- 发明人: Ki Hyuk Yoon , Young Seok Choi , Byung Duck Song , Soon Bum Kwon
- 申请人： Ki Hyuk Yoon , Young Seok Choi , Byung Duck Song , Soon Bum Kwon
- 申请人地址： KR Seoul
- 专利权人： LG. Philips LCD Co., Ltd.
- 当前专利权人： LG. Philips LCD Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： KR Seoul
- 代理机构： McKenna Long & Aldridge LLP
- 优先权： KR1998-47490 19981106
- 主分类号： G02B27/28
- IPC分类号： G02B27/28
摘要：
A light irradiating device for a photo-alignment process comprises an optical system and a first polarizer polarizing the light from the optical system. The light from the first polarizer is obliquely irradiated at an angle with respect to a normal direction of a stage on which a substrate is placed.
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