发明授权
- 专利标题： Method of forming optical waveguides by ion implantation
- 专利标题（中）： 通过离子植入形成光波导的方法
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申请号： US466838申请日： 1990-01-18
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公开(公告)号： US5066514A公开(公告)日： 1991-11-19
- 发明人: Keiji Oyoshi
- 申请人： Keiji Oyoshi
- 申请人地址： JPX Osaka
- 专利权人： Nippon Sheet Glass Co., Ltd.
- 当前专利权人： Nippon Sheet Glass Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： JPX Osaka
- 优先权： JPX1-17071 19890126; JPX1-315961 19891205
- 主分类号： G02B6/13
- IPC分类号： G02B6/13 ; C03C21/00 ; C04B41/80 ; G02B6/134
摘要：
An optical wave guide is formed by implanting at least two ionic species capable of forming an oxide, a nitride or a halide into the surface of a substrate.
公开/授权文献
- US5586847A Power tool adapter 公开/授权日：1996-12-24
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