发明授权
- 专利标题： Method of aligning a body
- 专利标题（中）： 对齐身体的方法
-
申请号： US837890申请日： 1977-09-29
-
公开(公告)号： US4212031A公开(公告)日： 1980-07-08
- 发明人: Alfons Schmitt , Diether Utz , Klaus Schafer
- 申请人： Alfons Schmitt , Diether Utz , Klaus Schafer
- 申请人地址： DEX Frankfurt am Main
- 专利权人： Licentia Patent-Verwaltungs-G.m.b.H.
- 当前专利权人： Licentia Patent-Verwaltungs-G.m.b.H.
- 当前专利权人地址： DEX Frankfurt am Main
- 优先权： DEX2643809 19760929
- 主分类号： H01L21/68
- IPC分类号： H01L21/68 ; G05D3/00
摘要：
A method of aligning a body in a desired position comprises producing an image from the body which is then broken down into image points with a spacing smaller than the required accuracy, storing the information content of the image points in digital form, comparing the stored information with desired information and moving the body accordingly.
公开/授权文献
- US5889686A Profile simulation method 公开/授权日：1999-03-30
信息查询
IPC分类:
