发明申请
- 专利标题： METHOD FOR PRODUCING COATINGS WITH A SINGLE COMPOSITE TARGET
- 专利标题（中）： 用单一复合材料制造涂料的方法
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申请号： US13386093申请日： 2010-07-16
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公开(公告)号： US20120160665A1公开(公告)日： 2012-06-28
- 发明人: Jürgen Ramm , Beno Widrìg , Helmut Rudígìer
- 申请人： Jürgen Ramm , Beno Widrìg , Helmut Rudígìer
- 申请人地址： CH Trubbach
- 专利权人： Oerlikon Trading AG, Trubbach
- 当前专利权人： Oerlikon Trading AG, Trubbach
- 当前专利权人地址： CH Trubbach
- 国际申请： PCT/EP2010/004365 WO 20100716
- 主分类号： C23C14/32
- IPC分类号： C23C14/32
摘要：
The invention pertains to a method for the production of coatings by physical vapor deposition (PVD), wherein a binary target or a target with more than two constituents is evaporated in a curvilinear cathodic arc discharge, causing the ions with different masses (elements) to be splitted and the ion splitting results in variations for the ratio of the different masses (elements) at different positions in the deposition chamber.
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