发明申请
- 专利标题： THIN FILM DEPOSITION APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING ORGANIC LIGHT-EMITTING DISPLAY DEVICE BY USING THE SAME
- 专利标题（中）： 薄膜沉积装置及使用其制造有机发光显示装置的方法
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申请号： US13178472申请日： 2011-07-07
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公开(公告)号： US20120009328A1公开(公告)日： 2012-01-12
- 发明人: Jae-Kwang Ryu , Chang-Mog Jo , Hee-Cheol Kang
- 申请人： Jae-Kwang Ryu , Chang-Mog Jo , Hee-Cheol Kang
- 优先权： KR10-2010-0066993 20100712
- 主分类号： C23C16/52
- IPC分类号： C23C16/52 ; B05D5/06 ; B05C11/00
摘要：
A thin film deposition apparatus that may be precisely aligned with a substrate during a deposition process, and a method of manufacturing an organic light-emitting display device using the thin film deposition apparatus.
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