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发明申请
US20060036345A1 Systems and method for lights-out manufacturing 审中-公开
照明制造的系统和方法

  • 专利标题： Systems and method for lights-out manufacturing
  • 专利标题（中）： 照明制造的系统和方法
  • 申请号： US11199815
    申请日： 2005-08-09
  • 公开(公告)号： US20060036345A1
    公开(公告)日： 2006-02-16
  • 发明人: An Cao , Wai Chan , Jill Card
  • 申请人： An Cao , Wai Chan , Jill Card
  • 主分类号： G06F19/00
  • IPC分类号： G06F19/00
Systems and method for lights-out manufacturing
摘要：
Complex process control and maintenance are performed utilizing a nonlinear regression analysis to determine optimal tool-specific adjustments based on operational metrics, process adjustments and maintenance activities.
摘要（中）：

使用非线性回归分析来执行复杂的过程控制和维护，以基于操作指标，过程调整和维护活动确定最佳的工具特定调整。

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