- 专利标题： Frame mounting after foil expansion
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申请号： US15860687申请日： 2018-01-03
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公开(公告)号： US10600670B2公开(公告)日： 2020-03-24
- 发明人: Thomas Fischer
- 申请人： Infineon Technologies AG
- 申请人地址： DE Neubiberg
- 专利权人： Infineon Technologies AG
- 当前专利权人： Infineon Technologies AG
- 当前专利权人地址： DE Neubiberg
- 优先权： DE102017100053 20170103
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; H01L21/78 ; H01L21/67 ; H01L21/687 ; B28D5/00
摘要：
An apparatus which comprises an expansion unit configured for expanding a foil, and a mounting unit configured for subsequently mounting the expanded foil on a frame and a workpiece, in particular a wafer, on the expanded foil.
公开/授权文献
- US20180190530A1 Frame mounting after foil expansion 公开/授权日：2018-07-05
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IPC分类:
