- 专利标题: 一种干涉测量条纹自动调整及垂直对焦防碰撞机构
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申请号: CN202421051228.9申请日: 2024-05-15
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公开(公告)号: CN221840356U公开(公告)日: 2024-10-15
- 发明人: 刘涛 , 景炜昌 , 于国明 , 何耀楠 , 孙子杰 , 胡佳琪 , 黄薏鸿 , 杨树明
- 申请人: 西安交通大学
- 申请人地址: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- 专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- 代理机构: 西安智大知识产权代理事务所
- 代理商 段俊涛
- 主分类号: G01B11/00
- IPC分类号: G01B11/00
摘要:
一种干涉测量条纹自动调整及垂直对焦防碰撞机构,包括光学系统测头、机台、XY位移滑台、样品旋转台、Z向位移滑台、超声波传感器、电机支座和XY双轴角度调整台;机台包括水平的机台基座端和竖直的机台支撑端;XY双轴角度调整台安装在机台基座端上,XY位移滑台安装在XY双轴角度调整台上,样品旋转台安装在XY位移滑台上;电机支座安装在机台支撑端上,Z向位移滑台安装在电机支座上,光学系统测头安装于Z向位移滑台并朝向下方的样品旋转台,随着Z向位移滑台的运动而实现与待测样品之间距离的调整。本实用新型实现了白光干涉精密测量技术的自动化,具有测量效率高、自动化程度高和能够有效防止干涉物镜与待测样品发生碰撞的特点。