一种干涉测量条纹自动调整及垂直对焦防碰撞机构
摘要:
一种干涉测量条纹自动调整及垂直对焦防碰撞机构,包括光学系统测头、机台、XY位移滑台、样品旋转台、Z向位移滑台、超声波传感器、电机支座和XY双轴角度调整台;机台包括水平的机台基座端和竖直的机台支撑端;XY双轴角度调整台安装在机台基座端上,XY位移滑台安装在XY双轴角度调整台上,样品旋转台安装在XY位移滑台上;电机支座安装在机台支撑端上,Z向位移滑台安装在电机支座上,光学系统测头安装于Z向位移滑台并朝向下方的样品旋转台,随着Z向位移滑台的运动而实现与待测样品之间距离的调整。本实用新型实现了白光干涉精密测量技术的自动化,具有测量效率高、自动化程度高和能够有效防止干涉物镜与待测样品发生碰撞的特点。
0/0