一种多功能微环控系统
Abstract:
本实用新型属于微环境控制设备技术领域,公开了一种多功能微环控系统,该系统包括洁净间、恒温恒湿气体控制柜和可升降的局部气浴模块,其中:恒温恒湿气体控制柜与洁净间连接,其用于向洁净间内输送气浴气体对待测卧式面形干涉仪进行全局气浴;局部气浴模块设置于洁净间内的待测卧式面形干涉仪上方,并能向下运动罩设在待测卧式面形干涉仪上,局部气浴模块还与恒温恒湿气体控制柜连接,恒温恒湿气体控制柜用于向局部气浴模块中输送气浴气体,局部气浴模块用于直接朝待测卧式面形干涉仪输送气浴气体。本实用新型能够同时实现全局气浴与局部气浴功能,且能对待测设备同时实现物理隔离和气浴隔离。
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