一种具有极强泄放能力的双向保护器件
摘要:
本实用新型公开了一种具有极强泄放能力的双向保护器件,包括位于最底端的背面金属电极,背面金属电极上方设有N+衬底,N+衬底上方设有N型功能层和P埋层,N型功能层位于P埋层的中心内侧,N型功能层和P埋层之间、P埋层内部设有短隔离槽,短隔离槽未贯穿P埋层和N型功能层,N型功能层上方设有P+掺杂区,P埋层上方设有N+掺杂区,P+掺杂区和N+掺杂区上方设有正面金属电极。本实用新型相较于现有的通用型结构,没有将短隔离槽贯穿P埋层,器件在遇到ESD事件时,内部过电流的面积增加了,器件的ESD保护能力大大提升。同时采用纵向三极管式的短隔离槽结构也有效减少的寄生电容,进一步提高器件的ESD保护能力。
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