一种紫外光光刻机的支撑底座
摘要:
本实用新型涉及紫外光刻机技术领域,具体公开了一种紫外光光刻机的支撑底座,包括光刻机,光刻机的内部设置有活动平台,活动平台的下方设置有固定平台,固定平台与活动平台之间连接有支撑套管,支撑套管的内部位于活动平台的下表面安装有活动支撑杆,活动平台的下端一侧设置有第一液压缸,活动平台的下端另一侧设置有第二液压缸,第二液压缸与第一液压缸与支撑套管之间均连接有液压连管。两个液压连管到支撑套管之间的间距相同,同时启动第一液压缸和第二液压缸内部的液压推杆进行运动时,使得液压油推动四个支撑套管整体同步上升,可以同时控制活动平台的四个棱角位置同步上升下降,保证光刻夹具整体进行进行调节高度时不会出现倾斜的情况。
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