实用新型
- 专利标题: 一种紫外光光刻机的支撑底座
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申请号: CN202320528606.7申请日: 2023-03-17
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公开(公告)号: CN219658002U公开(公告)日: 2023-09-08
- 发明人: 王东升 , 朱正松 , 周德参 , 杨青 , 杨春
- 申请人: 上海顺灏新材料科技股份有限公司
- 申请人地址: 上海市普陀区真陈路200号
- 专利权人: 上海顺灏新材料科技股份有限公司
- 当前专利权人: 上海顺灏新材料科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市普陀区真陈路200号
- 代理机构: 上海湾谷知识产权代理事务所
- 代理商 肖进
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20
摘要:
本实用新型涉及紫外光刻机技术领域,具体公开了一种紫外光光刻机的支撑底座,包括光刻机,光刻机的内部设置有活动平台,活动平台的下方设置有固定平台,固定平台与活动平台之间连接有支撑套管,支撑套管的内部位于活动平台的下表面安装有活动支撑杆,活动平台的下端一侧设置有第一液压缸,活动平台的下端另一侧设置有第二液压缸,第二液压缸与第一液压缸与支撑套管之间均连接有液压连管。两个液压连管到支撑套管之间的间距相同,同时启动第一液压缸和第二液压缸内部的液压推杆进行运动时,使得液压油推动四个支撑套管整体同步上升,可以同时控制活动平台的四个棱角位置同步上升下降,保证光刻夹具整体进行进行调节高度时不会出现倾斜的情况。
IPC分类: