本实用新型涉及一种射频能量发生装置，该射频能量发生装置包括：射频能量发生电路包括频率驱动电路、射频功率放大器、校准电路、阻抗检测电路和处理模块。射频功率放大器与频率驱动电路的输出端连接；校准电路具有多种不同的拓扑电路结构状态，校准电路在各拓扑电路结构状态下的标准阻抗值不同，校准电路可切换连接至射频功率放大器的输出端；阻抗检测电路与射频功率放大器的输出端连接；处理模块用于在所述射频功率放大器与射频输出端口导通连接时根据阻抗检测电路测量的阻抗和校准表确定射频负载的标准阻抗值。该射频能量发生装置可实现射频负载的阻抗值的自动化校准，且无需外接校准检测设备。