一种多镜头光纤型OCT三维深度检测装置
摘要:
本实用新型提供一种多镜头光纤型OCT三维深度检测装置。该检测装置包括主路和检测支路,主路包括激光光源、第一耦合器、第一环形器、控制系统、参考臂、第二耦合器、转换器、数据采集器。检测支路的数量为两组以上,每组检测支路均连接至主路,在每组检测支路中均设置有一个光开关。该检测装置可以同时对于多个待测样品进行光学参数检测,例如粗糙度、凹陷等。
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