实用新型
CN211265487U 一种薄膜晶体管
失效 - 权利终止
- 专利标题： 一种薄膜晶体管
-
申请号： CN201922204423.6申请日： 2019-12-10
-
公开(公告)号： CN211265487U公开(公告)日： 2020-08-14
- 发明人: 刘荣跃 , 丁庆 , 王鑫
- 申请人： 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司 , 华讯方舟科技有限公司
- 申请人地址： 广东省深圳市宝安区西乡街道宝田一路臣田工业区第37栋二楼东
- 专利权人： 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司,华讯方舟科技有限公司
- 当前专利权人： 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司,华讯方舟科技有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省深圳市宝安区西乡街道宝田一路臣田工业区第37栋二楼东
- 代理机构： 深圳中一联合知识产权代理有限公司
- 代理商 胡鹏飞
- 主分类号： H01L29/786
- IPC分类号： H01L29/786 ; H01L29/06 ; H01L29/24 ; H01L21/34
摘要：
本申请属于半导体器件技术领域，提供了一种薄膜晶体管，通过采用费米能级不同的第一有源层和第二有源层组成有源层，并在第一有源层的上表面上设有多个间隔设置的第一有源层凸起，从而在第二有源层和第一有源层之间形成波纹异质结，不仅减少了非晶IGZO薄膜晶体管的漏电流，而且还提高非晶IGZO薄膜晶体管的开关比，解决了现有的IGZO薄膜晶体管由于电迁移率和输出电流较低，无法满足新的需求的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
IPC分类:
