实用新型
CN211265486U IGZO薄膜晶体管
失效 - 权利终止
- 专利标题： IGZO薄膜晶体管
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申请号： CN201922196084.1申请日： 2019-12-10
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公开(公告)号： CN211265486U公开(公告)日： 2020-08-14
- 发明人: 刘荣跃 , 丁庆 , 王鑫
- 申请人： 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司 , 华讯方舟科技有限公司
- 申请人地址： 广东省深圳市宝安区西乡街道宝田一路臣田工业区第37栋二楼东
- 专利权人： 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司,华讯方舟科技有限公司
- 当前专利权人： 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司,华讯方舟科技有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省深圳市宝安区西乡街道宝田一路臣田工业区第37栋二楼东
- 代理机构： 深圳中一联合知识产权代理有限公司
- 代理商 胡鹏飞
- 主分类号： H01L29/786
- IPC分类号： H01L29/786 ; H01L21/336 ; H01L29/10 ; H01L29/12
摘要：
本申请属于半导体器件技术领域，提供了IGZO薄膜晶体管，通过若干IGZO纳米线形成沟道层，并使得若干IGZO纳米线与经过源极和漏极之间的直线平行，从而使得电子可以直接从源极沿着IGZO纳米线传输到漏极，极大提高了IGZO薄膜晶体管的电迁移率，解决了目前制备的非晶IGZO TFT，存在的稳定性和可靠性都比较差的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
IPC分类:
