实用新型
- 专利标题： 一种双环电极共面放电等离子体发生装置
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申请号： CN201721581779.6申请日： 2017-11-23
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公开(公告)号： CN207531152U公开(公告)日： 2018-06-22
- 发明人: 李建 , 童洪辉 , 王坤 , 但敏 , 金凡亚
- 申请人： 核工业西南物理研究院 , 成都理工大学工程技术学院
- 申请人地址： 四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号
- 专利权人： 核工业西南物理研究院,成都理工大学工程技术学院
- 当前专利权人： 核工业西南物理研究院,成都理工大学工程技术学院
- 当前专利权人地址： 四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号
- 代理机构： 核工业专利中心
- 代理商 高安娜
- 主分类号： H05H1/24
- IPC分类号： H05H1/24
摘要：
本实用新型属于低温等离子体技术领域，具体涉及一种双环电极共面放电等离子体发生装置。本装置由电源和埋藏在介质层内的双环形电极单元紧密排列而成；所述双环形电极单元包括内环电极和外环电极，内环电极和外环电极均埋藏在介质层内一定深度，内环电极接地，外环电极连接高压电源的高频、高电压电极，多个双环形电极单元组合后可以产生大面积均匀等离子体，在所述的内环电极和外环电极之间的介质层表面，在高电压作用下产生共面放电等离子体，等离子体分布均匀。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
IPC分类:
