一种碳基电阻式柔性压力传感器
摘要:
本实用新型公开了一种碳基电阻式柔性压力传感器,传感器呈四层薄膜结构,包括柔性聚酰亚胺薄膜层、银电极层、柔性石墨烯和氧化石墨烯的复合薄膜层以及氧化石墨烯薄膜绝缘保护层。当该压力传感器受到压力作用或者发生弯曲应变时,通过测量银电极两端的电阻变化值即可得到压力传感器的受力情况。本实用新型整体呈薄膜状结构,柔性性质好,可在弯曲任意角度的状态下正常工作;灵敏度高,应变系数在2.1‑3之间;压力测量范围广,为10Pa至900kPa;具有很高的分辨率和超快速动态响应,能测出高达10kHz的动态高频压力信号;稳定性质好,通过了8000次以上的稳定性重复测试。其制备工艺简单,设备成本低,适用于可穿戴设备,可用于压力、应变等物理量测量。
0/0