Utility Model
- Patent Title: 一种测量直拉单晶炉电极电位差的装置
- Patent Title (English): Device for measuring difference in electrode potentials of straight pulled single crystal furnace
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Application No.: CN200820233671.2Application Date: 2008-12-25
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Publication No.: CN201317828YPublication Date: 2009-09-30
- Inventor: 梁开金 , 侯艳柱 , 方锋 , 邓德辉 , 杨杨 , 李洋
- Applicant: 北京有色金属研究总院 , 有研半导体材料股份有限公司 , 国泰半导体材料有限公司
- Applicant Address: 北京市新街口外大街2号
- Assignee: 北京有色金属研究总院,有研半导体材料股份有限公司,国泰半导体材料有限公司
- Current Assignee: 有研半导体材料有限公司
- Current Assignee Address: 北京市新街口外大街2号
- Agency: 北京北新智诚知识产权代理有限公司
- Agent 郭佩兰
- Main IPC: C30B15/20
- IPC: C30B15/20

Abstract:
一种测量直拉单晶炉电极电位差的装置,它包括:壳体,分别与加热电极的正极以及电极负极连接的电阻,且电阻的另一端接地,在电极的正极与地以及电极的负极与地之间分别并联一个电压表。所述的电压表的电源接24伏工作电源。本实用新型的有益效果是:结构简单,成本低廉,使用本实用新型装置可以及时、准确的对“电极接地故障”报警进行对判断,减少对地故障造成的损失。
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IPC分类: